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SAES PURE GAS氧气净化器MegaTorr PS6
  • SAES PURE GAS氧气净化器MegaTorr PS6

产品描述

产品名称:SAES PURE GAS氧气净化器MegaTorr PS6

产品型号:PS6-MGT15-O

产品介绍

这些PS6催化剂和吸附器本体气体净化器以高可靠性、和高性能有效地去除了大量杂质。

性能特点

使用专门设计的双催化和吸附工艺,为半导体应用提供高纯度气体

碳化合物(CH4)、(CO)和(H2)在高温下与氧化催化剂容器中的氧气(O2)反应,形成二氧化碳(CO2)和水(H2O),然后在环境温度吸附器容器中去除。

两个吸附器容器在净化和再生模式之间交替,提供连续净化

吸附剂再生是通过在高温下反冲洗纯化的O2来实现的

优化设计在流量高达16667 slpm(1000 Nm3/hr)的小占地面积内提供亚ppb性能

技术参数

产地:美国

工艺双催化和吸附

气体净化:O2

杂质去除至<1ppb:H2O、CO、CO2H2CH4

流量max.15 Nm3/hr

压降max.<0.7 bar (70 kPa)

吸附器容器数量:2

高度H193 cm

宽度W89 cm

深度D84 cm

重量<600 kg

产品应用

半导体

数据存储

平板显示器

发光二管

太阳能

 

上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术询问,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐,连航分别在德国和美国设立了公司和仓储,一举巩固了采购能力,扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势。

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