PALOMAR高真空炉3150

产品名称：PALOMAR高真空炉3150

产品型号：3150

产品介绍：

3150高真空炉封装采用非常低的真空和湿度水平密封，以延长长期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高达 500°C（可选 1000°C）的温度。洁净室兼容系统还可配置为允许盖子和封装的原位分离、吸气剂烧制和MEMS封装的密封。使用涡轮分子阻力泵来有效泵送氢气分子。对于需要很低水平残留水蒸气的工艺，可以将可选的低温水泵添加到系统中。

性能特点：

•高真空能力

•可选的低温水泵

•涡轮分子泵

•压力为12 psig

•自动线性运动阶段

•电阻石墨热系统

•专有运行分析仪软件

•自动温度和压力控制

•分布式逻辑控制系统

•原位热量

•所有配置文件运行的实时绘图

•温度高达1000°C（可选）

参数：

•工作温度范围：室温至500°C（1000°C选项）

•热工作区：25“ ²（160 cm2）

•min真空水平：<1 x 10^-7托尔（1.3 x 10^-7 mbar）

•max室内气PSI：15 psig（1.8 bar）

•室深度：12英寸（305毫米）

•工作表面高度：37英寸（95厘米）可调

•需要压缩空气：90 psig（7 bar）

•冷却方法：可编程氮气清洗

•加热方法：可移动的电阻石墨夹具

•工艺气体（三个输入）：需要N₂，（AR，HE，形成气体可选） @ 90psig（7 bar）min压力

•尺寸（w x d x h）：94“ x 43” x 54“（238 x 109 x 137 cm）

•体重：1800磅（816公斤）

•电气（*电压）：208-240伏，60安培，50/60 Hz，1阶段，7.3千瓦平均值，13.2千瓦峰

•真空泵类型：涡轮分子阻力（可选的低温水泵）

•冷却水：2 GPM（8 lpm） @ 20-25°C，2千瓦的容量min

 

 

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